傅里叶变换红外光谱仪测定三氯氢硅中碳含量
编辑：广州w66给利老牌科学仪器 来源：//jizegame.com.cn 发表日期：2023.07.07
返回列表
广州w66给利老牌仪器代理的傅里叶变换红外光谱仪型号有赛默飞Nicolet iS50、is20、Summit，应用于聚合物和塑料；分析服务；质量控制 QA/QC；制药；教育；法医刑侦；珠宝玉石分析等。文章是用傅里叶变换红外光谱仪测定三氯氢硅中碳含量的检测。
多晶硅生产企业需解决的一个问题是对中间产物三氯氢硅中的碳含量进行检测和监控。这其中存在两个技术问题：第一，目前文献报道或专利技术提及三氯氢硅中碳含量的检测方法不多；第二，三氯氢硅沸点31度左右，属于强挥发液体，且遇空气立刻生成氯化氢和二氧化硅。
赛默飞为客户提供更好的解决方案的宗旨，自行设计开发整个实验方案，已得到一个初步适用于监测三氯氢硅产品中碳含量的分析方法。
解决方案
按不同配比准备不同碳含量的三氯氢硅，测得红外谱图，然后用TQ自动定量软件计算得到定量工作曲线并预测样品。
实验过程
实验仪器：Nicolet iS10TM傅立叶变换红外光谱仪；
TQ Analyst自动定量软件
实验参数：透射模式，分辨率4cm-1
实验结果
TQ Analyst自动定量软件得到的定量曲线结果如下（图1），碳含量浓度范围为0.01到1.80ppma，相关系数为0.99580。以此曲线预测某最终精馏段中三氯氢硅样品，得到碳含量为0.24ppma，见下图（图2）。
总结
1.自行开发、设计并已形成一套初步的三氯氢硅产品中碳含量的检测方法。该方法包包括实验装置的搭建、标样的制备、仪器附件的配置，数据的采集和最终形成的工作曲线。
2.TQ定量分析软件的自动智能分析流程帮助用户迅速建立工作曲线，避免人为计算的误差。
TAG：傅里叶变换红外光谱仪 FTIR红外光谱仪 红外光谱仪
