磁悬浮涡轮分子泵结构注释图
发表日期：2023.11.10
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磁悬浮涡轮分子泵结构注释图
涡轮分子泵适合于在 10-3 至 10-10 hPa 的范围内产生清洁真空。得益于其高压缩比，它们使油封泵入口区域的油远离被 抽容器。具有不锈钢外壳和 CF 法兰的型号可烘烤。这使得这些泵非常适合于要求实现超高真空的研发应用。
真空涡轮分子泵对于制造极纯工艺条件具有至关重要的作用。普发真空涡轮分子泵广泛的应用领域不仅涵盖分析仪器、真空处理和半导体技术，还包括涂层、科研和工业用途。
电磁轴承也被称作“主动式磁悬浮轴承”，其转子位置会被不间断的监测和自动调整，并依靠自动平衡补偿来实现无磨损、低震动的运行。保证转子能持续稳定的工作。同时，这样的轴承设计也实现了零维护和无润滑油。
ATH M和ATP* M系列的磁悬浮涡轮分子泵拥有5轴磁轴转子监测系统和实时的转子位移自动修正功能。通过采用这种高性能的 轴承技术，涡轮分子泵不仅能确保长时间的稳定性和可靠性，同时运 行时也非常安静。此系列轴承技术的泵在半导体、镀膜和干蚀刻等 离子体过程行业的高真空工艺中，此外也广泛应用于许多其他工业行业和研发领域。
TAG：涡轮分子泵 分子泵 真空泵
