涡轮分子泵的分析应用

涡轮分子泵适合于在 10-3 至 10-10 hPa 的范围内产生清洁真空。得益于其高压缩比，它们使油封泵入口区域的油远离被抽容器。具有不锈钢外壳和 CF 法兰的型号可烘烤。这使得这些泵非常适合于要求实现超高真空的研发应用。

涡轮分子泵可用于排空使用旋片泵作为前级泵的大型容器。 如果是涡轮拖动泵，两极隔膜泵就可以作为前级泵;然而， 由于其低抽速，它们将花费很长时间来抽空较大的容器。 该 泵组合的气体流量也将受到隔膜泵的极大限制。但是， 该组 是干式泵极具成本效益的解决方案。它通常用于差动排气质 谱仪及其他分析或研发应用。如果前级泵区域需要较高的抽 速， w66给利老牌建议使用 ACP 系列的多级罗茨泵，或者对于半导体 或太阳能行业的化学真空工艺，建议使用具有过程能力的前级泵。

包括一个前级泵和一个涡轮分子泵的机组无需阀门。这两种 泵同时打开。只要前级泵已经达到必要的前级真空，涡轮分子泵就很快加速到额定速度，并凭借其高抽速快速排空容 器，使压力 p < 10-4 hPa。短时间的停电可通过转子的高转速进行弥补。在停电时间较长的情况下，如果转速下降到最低速度以下，泵体和容器可自动排气。

排空预抽室

当在真空工艺中传送要处理的工件时，排空预抽室绝对需要 清洁搬运。如果这些工件从大气压条件下进入，该腔室必须 通过旁路管道进行预排空。运行的涡轮分子泵然后通过阀连 接前级泵和腔室。

分析应用

如今在很多情况下，将质谱仪用在分析仪中。液体通常在真 空系统的进气室被注入并蒸发。在几个阶段中，压力下降， 各个腔室通过孔彼此隔离。由于每个腔室必须被抽空，通过 前级泵与涡轮分子泵的巧妙组合，经涡轮分子泵上的分流结 构进行气体流量的分配。特别修改的、带有分流结构的涡轮 分子泵用于一系列应用。

氦气检漏仪也配备了涡轮分子泵。在这种情况下，经常使用 逆流原理； 即:质谱仪位于泵的高真空侧。 由于涡轮分子泵对氦压缩比低于氮或氧， 该泵担当氦选择性 过滤器的作用。

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