涡轮分子泵的优势
发表日期：2023.11.14
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涡轮分子泵的优势
普发真空涡轮分子泵广泛的应用领域不仅涵盖分析仪器、真空处理和半导体技术，还包括涂层、科研和工业用途。
真空涡轮分子泵应用领域：
分析仪器：质谱分析法、显微镜等；
半导体行业：电子组件、集成电路、太阳能电池等；
光学/玻璃行业：隔热保护、防反射、反射、滤光镜镀膜等；
真空镀膜技术：表面保护、装饰土层、显示技术、屏幕等；
真空冶金：真空焊接、真空烧结、真空合金、真空炉等；
泄漏检测：真空系统、机车燃料箱、安全气囊、真空包装行业；
科研设施：核粒子物理学、核聚变研究、激光应用等；
灯具行业：灯具生产等。
涡轮分子泵在抽吸真空工艺的高气体负荷时，有两大优势：
涡轮分子泵在每个工艺步骤开始时产生清洁真空，然后可以在无 任何有害回流的情况下抽空工艺气体。在第二个步骤中， 其主要目的是保持真空过程应该运行所需的一定压力。 在该过 程中，气体流量和工作压力将由所涉及的应用来决定; 即: 将在一定的气体流量下抽吸一定的体积流量。而且， 在改变 工件时应该可以快速实现清洁中间真空。由于这些是相互矛 盾的要求，必须选择适用于所需气体流量、有足够尺寸的涡 轮分子泵和所需的中间真空。将通过入口阀(如蝶阀)来调节过程压力。如何选择这种类型泵。 技术数据中规定的最大允许气体负荷应理解为允许的连续负荷。这适用于根据规格保证足够冷却以及因此前级压力被调节到最大临界前级压力以下。
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